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其中,燧人科技赫然在列。
燧人科技——重明鸟光学技术有限公司——极紫外光源......
看到这个之后,台下的那群洋人代表都是不敢相信。
“怎么可能?他们居然掌握了极紫外光源技术!”
“他们怎么可能有这么精密的光学镜片?”
“还有他们是如何解决光学系统的协同问题?”
要知道,EUV光刻机的极紫外光源可不仅仅是饱含一个光源,还需要适配的激光系统。
EUV激光系统由大约 45万个零件组成,重约 17吨。
为了确保这些零件正确组装,仅检查标准就多达 1000多条,这还不包括模块和子模块额外的预检标准。
从种子光发生器到锡珠有 500多米的光路,这对所有零部件都提出了非常苛刻的要求,尤其是系统中包含的 400多个光学元器件。
一旦里边的零件搭配或者参数不当,随时可能发生数据偏差,导致芯片可能不能如期望的性能被生产出来。
而这些光学元器件只有汉斯猫的通快和蔡思才能做到。
其中蔡思主要提供相关的镜片,而通快则将其激光系统设计并制造出来。
这不是一件容易的事情。
要不然怎么说这极紫外光源是EUV光刻机的三大核心部分之一。
这得需要长久的打磨和技术为基础。
之前他们以为这群兔子似乎实现了光刻机的EUV光源及其激光系统是开玩笑的,没想到却是真的。
那么这意味着他们为兔子铸造的半导体的壁垒被挖出来一个缺口。