眼界决定成功 【求订阅】
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他告诉胡明镇,影响激光发生器的因素有很多,仅仅卤化物的纯净度这方面就会产生N种激光粒子。更别说激光发生器的机械材料、机械加工精度、机械装配精度等等,都会影响激光粒子的强度。
“长见识喽!难怪我们国家在激光发生器领域跟老外的差距那么大。”
“所以说,我们眼前的这台光刻机所蕴含的技术要远超我们的预想。”
“我认为咱们现在就可以下论断总结,判定这台KrF光刻机研发成功。”
“我同意老单的意见。”
听完郝宁教授的解释,刘教授、单教授、董教授等人反而比较高兴,在光刻室里就已经拿出此次论证审核的初步预判。
在他们看来,胡明镇的团队能做到这一步已经非常成功了。
这台光刻机的项目所取得的成绩,要远远大于项目本身的意义。
然而此时,胡明镇却微皱着眉头跟章钕京商量,“老章,我认为你还要增加两个批次的流片工程测试。”
“对,一个是高功率消耗的模式做光刻实验,一个是平常额定功率模式做光刻实验。”
“那实验经费怎么办?”胡明镇有些愁眉不展。