问题到底出在哪里 【求订阅】
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这时候,梁宋松有点懵懵的。出于自信,他随口就否定了万宁古的判断,“怎么不可能?我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右,加工精度怎么能保障?依我看,就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”
“咱们不能随便乱说,要用实验数据来说话。”万宁古不认输,用手指摸了摸主机系统的接驳机构,感受一下接驳机构的加工面。
这组接驳机构的加工面非常光滑,曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。
所以,许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下,然后侧过脸来问万宁古:“老万,咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验?”
万宁古闻言摇摇头,“光刻机是精密设备,两套系统一定要组装在一起工作才行。否则,光刻流片的精度无法保障。”
按照他的意思,土办法是解决不了目前的测试困境,这事有点难办了。