检验 （上）

    由於不需要把整个晶圆的面积全部生產利用上，光刻机曝光了十次就停止了工作，在电机的推动下工作台缓缓的从光刻机中退出，开始把晶圆向后续工艺推送。

    曝光之后是显影，显影之后是坚膜，再之后工艺进入了检测程序，这步工艺是对晶圆的显影结果进行检测，合格的晶圆进入后续的刻蚀等流程，不合格的晶圆在清洗后进入最初流程重新来过。

    不过对於实验室中的眾人来说，检测这一步几乎就足够判定新方法的生死了，在电子显微镜下成与不成一目瞭然。

    梁远是啥都不懂，只能看著王欣坐在检测设备前通过电子显微镜观察著刚刚出炉不久的晶圆。